來源: 發布時間:2022-09-20 1412 次瀏覽
線型感溫火災探測器對直條形電極和雙面分流型電極的二維PSD線性度作了進一步的研究。他們利用標準的平面硅加工和IC集成技術,將二維PSD及相應的信號處理電路集成為一個芯片,其光敏面面積為6 mmx6 mm。并以固體電子理論,建立了集成器件的理論基礎。對該器件制備的主要環節及重要參數作了詳細說明。對二維器件在不同方向進行了標定,并在二維面上作了實驗測試,其測量結果有很高的線性度。
在此基礎上,對PSD的線性度進行了系統研究,發現點電極、側面電極結構,由于科學技術的發展帶動了制造業的發展,特別是半導體加工工藝的成熟,推動了半導體器件的商業化進程。同時,PSD應用需求的擴大,對其性能的要求也越來越高。更為重要的是,隨著新技術的使用,使半導體加工技術和工藝得到了長足的進步。這些技術的應用推廣,也使PSD的結構和性能都得到了優化,這也帶動了PSD器件的商業化。研發了能滿足不同要求的一維和二維的PSD產品,并配備了相應的處理電路。特性參數的典型值:位置分辨率0.2—7ym,響應速度0.3—3斗s,光敏面范圍為1mmx3mm—27 mmx27mm,位置誤差10ym—lmm。
20世紀80年代初,科研機構就開始研究采用PSD等光電傳感器構成的位置測量系統。其典型的研究成果有雙PSD測量系統,這些檢測系統的位置測量精度都小于0.01 mm,并已形成高新技術產品進入市場。
自然界的各種物質,根據線型感溫火災探測器其導電能力的差別,可以分為導體、絕緣體和半導體三大類。在孤立的原子中,原子核外的電子按照一定的殼層排布,每一殼層上容納一定數量的電子。電子在殼層上的分布遵守泡利不相容原理和能量原理。
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